1 功能特点：

1.1具备裂像辅助对焦功能，可进行高精度的Z向测量；

1.2高亮度LED照明；

1.3无间隙丝杆载物台保证测量精度；

1.4 XYZ三轴均配有高精度光栅尺；

1.5底部光源采用准直光源用于轮廓测量，提高测量精度；

1.6操作简单便捷，减小人为误差；

1.7可根据客户需求进行定制。

2 扩展功能：1.1可以同时完成测量点的表面观察

1.2 具有多种数据测量、显微放大、显示输入和输出等数据处理功能。

3 应用领域：

本产品适用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片测试、半导体材料、线束加工蚀刻、液晶电池盖、导线框架等产品的检查观察。也适用于几何形状的显微观测，并且有三维的测量功能。因此是精密零件，集成电路，半导体芯片，光伏电池，光学材料等行业的必备仪器。

4 技术参数：

5 配套软件介绍：

测量显微镜的主要操作软件。该软件提供平台移动、变倍、聚焦和测量的全部控制功能，它能使复杂的操作化繁为简。

6 产品尺寸：

 单位：mm